Los materiales semiconductores bidimensionales (2D) tienen propiedades optoelectrónicas distintas que podrían resultar ventajosas para el desarrollo de componentes electrónicos ultrafinos y sintonizables.A pesar de sus ventajas potenciales sobre los semiconductores a granel, interconectar de manera óptima estos materiales con dieléctricos de compuerta hasta ahora ha resultado un desafío, lo que a menudo resulta en trampas interfaciales que degradan rápidamente el rendimiento de los transistores.
Investigadores de la Universidad de Ciencia y Tecnología Rey Abdullah (KAUST), la Universidad de Soochow y otros institutos de todo el mundo introdujeron recientemente un enfoque que podría permitir la fabricación de transistores de mejor rendimiento basados en semiconductores 2D.Su diseño propuesto,delineadoen un papel enElectrónica de la naturaleza, implica el uso de dieléctricos de nitruro de boro hexagonal (h-BN) y electrodos de compuerta metálica con una alta energía cohesiva.
"Inicialmente, descubrimos que cuando usamos platino (Pt) como ánodo, es menos probable que la pila h-BN activedieléctricoruptura", dijo Yaqing Shen, primer autor del artículo, a Tech Xplore. "Basándonos en este hallazgo, diseñamos nuestros experimentos y descubrimos que las pilas de compuertas Pt/h-BN muestran una corriente de fuga 500 veces menor que las de compuertas Au/h-BN.se apilan y exhiben una alta rigidez dieléctrica de al menos 25 MV/cm.Esto nos dio la idea de utilizar CVD h-BN como dieléctrico de puerta en transistores 2D".
Shen, el profesor Mario Lanza y sus colegas fabricaron más de 1.000 dispositivos utilizando h-BN depositado con vapor químico como dieléctricos.Cuando evaluaron estos dispositivos, descubrieron que los dieléctricos de puerta h-BN eran más compatibles con metales de alta energía cohesiva, como el Pt y el tungsteno (W).
"Para fabricar transistores con un Pt/h-BN/MoS vertical2estructura, comenzamos limpiando un SiO2/Si usando baños ultrasónicos en acetona, alcohol y agua desionizada", explicó Shen. "Los electrodos de fuente y drenaje (Ti/Au) se modelaron en este sustrato usandolitografía por haz de electronesy depositado por deposición de haz de electrones.Posteriormente, MoS2fue exfoliado de un cristal natural y transferido a estos electrodos para formar el canal.La película CVD h-BN se transfirió sobre esta estructura mediante transferencia húmeda".
Como último paso en el proceso de fabricación de transistores, los investigadores modelaron la puerta Pt.electrodoutilizando litografía por haz de electrones y luego lo depositó mediante una técnica conocida como evaporación por haz de electrones.La interfaz limpia de Van der Waals entre MoS2y h-BN en el transistor del equipo mejora su confiabilidad y rendimiento, minimizando defectos y mejorando el control de la puerta.
"Descubrimos que, contrariamente a la creencia de que CVD h-BN es un dieléctrico de puerta deficiente, seleccionar los electrodos metálicos adecuados permite su uso eficaz entransistores de efecto de campocon MoS2canales", dijo Shen. "MoS2y h-BN forman una interfaz limpia de van der Waals, lo que mejora la confiabilidad.Nuestros hallazgos muestran que el uso de metales de alta energía cohesiva como Pt y W convierte al CVD h-BN en un dieléctrico de puerta eficaz en transistores 2D".
Hasta ahora se ha descubierto que el enfoque de este equipo de investigación para fabricar transistores basados en semiconductores 2D es muy prometedor, ya que reduce la fuga de corrientes y permite una alta rigidez dieléctrica de al menos 25 MV·cm.-1.Las pruebas iniciales revelaron que los electrodos de compuerta basados en Pt y W redujeron la corriente de fuga a través de los dieléctricos h-BN en un factor de aproximadamente 500 en comparación con transistores similares con electrodos de oro (Au).
El trabajo reciente de Shen y sus colegas podría facilitar el uso de materiales 2D para fabricar circuitos y dispositivos microelectrónicos de estado sólido confiables.Otros grupos de investigación pronto podrían explorar enfoques y materiales similares, lo que podría conducir al desarrollo de más dispositivos basados en semiconductores 2D de alto rendimiento.
"Como siguiente paso en nuestra investigación, planeamos desarrollar transistores ultrapequeños (nanoescala) totalmente 2D para ayudar a ampliar la Ley de Moore", añadió Shen."También pretendemos resolver los problemas de contacto entre los canales 2D y los electrodos para mejorar el rendimiento del dispositivo".
Más información:Yaqing Shen et al, Transistores basados en materiales bidimensionales que utilizan dieléctricos de nitruro de boro hexagonal y electrodos de puerta metálica con alta energía cohesiva.Electrónica de la naturaleza(2024).DOI: 10.1038/s41928-024-01233-w
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Citación:Los investigadores desarrollan un enfoque para fabricar transistores de alto rendimiento basados en semiconductores 2D (2024, 7 de septiembre)recuperado el 7 de septiembre de 2024de https://techxplore.com/news/2024-09-approach-fabricate-highly-transistors-based.html
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